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氦气密封性检测
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技术指标
定量测量范围(Pa-m3/s) | 10ˉ12~10ˉ2 |
进气口排气速度(He) |
1.8L/s(Gross Mode) 2.0L/s(Middle Mode) 5.0L/s(-H:Fine Mode) |
进气口形状 | NW25(ISO) |
主泵 | TMD 50L/s |
显示 | 彩色液晶 |
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